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酸碱腐蚀清洗机（Acid&Alkali Etcher）
适用场景：对各种薄膜及金属进行刻蚀和最终清洗
设备特点：
1、支持非标定制
2、支持各种待洗件种类，例如：硅原料-硅片、石英及各种parts件
3、工艺过程全自动处理
4、可预设多条Recipe,操作简洁
5、自动补、配液
6、根据客户化学品种类制定不同耐受性好、价格优的材料
7、可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案
8、可根据不同厂务要求制定不同的供液方案
9、槽位可做水平也可做前后双列
10、根据工艺要求，模块化设计，配置Leak Sensor
11、选配SECS/GEM接口
12、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
设备特点：
1、支持非标定制
2、支持各种待洗件种类，例如：硅原料-硅片、石英及各种parts件
3、工艺过程全自动处理
4、可预设多条Recipe,操作简洁
5、自动补、配液
6、根据客户化学品种类制定不同耐受性好、价格优的材料
7、可根据不同厂务要求制定不同种类的排放方案
8、可根据不同厂务要求制定不同的供液方案
9、槽位可做水平也可做前后双列
10、根据工艺要求，模块化设计，配置Leak Sensor
11、选配SECS/GEM接口
12、可实现工件数据追溯，具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能
关键词：
酸碱腐蚀清洗机（Acid&Alkali Etcher）
所属分类：
工艺制程湿法设备
酸碱腐蚀清洗机
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酸碱腐蚀清洗机（Acid&Alkali Etcher）
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